原创 打破“无芯”窘境!首台10纳米光刻机问世,助力国产芯走向
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原标题:打破“无芯”窘境!首台10纳米光刻机问世 , 助力国产芯走向世界
随着我国对科技的重视以及研究 , 我们有了越来越多属于我们自己的高科技产品 , 紫外超分辨光刻机就是其中之一 。
紫光超分辨光刻机是全球首台利用紫外线光源实现22纳米工艺制程的光刻机 , 结合多重曝光技术后 , 可用于制造10纳米级别的芯片 。 头发丝儿的直径约80微米 , 头发直径的3600之一就是22纳米 , 换句话说 , 该光刻机能够在头发丝儿上进行各种复杂的工艺设计 。 而365纳米的光源 , 打破了传统的衍射极限 , 相当于你用一把粗10厘米的美工刀 , 却刻出一条1纳米的线 。
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目前 , 全球仅有四家光刻机设备厂商能够设计出高端的光刻机 , 分别是荷兰的ASML、日本的Nikon和Canon以及中国的上海微电子装备公司 。 而紫外超分辨光刻机是由中国科学院光电技术研究所设计的 , 虽然与占据全球百分之九十市场份额的荷兰ASML相比还有很大的差距 , 但是他们仍在努力 。
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